面向高功率极紫外光刻的需求，研究基于中能（<10MeV）强流电子束驱动的等离子体极紫外光源。对高重频（~100MHz）电子束驱动产生高温等离子体和极紫外辐射的全过程物理进行理论建模和高精度仿真，完成电子束与等离子体的关键参数优化，目标IF点产生>100W的极紫外辐射功率。

深入开展高重频强流电子束与等离子体相互作用的理论研究，构建多物理场耦合的模拟平台，精准模拟电子束电离连续气流产生等离子体、等离子体加热、等离子体辐射极紫外光等关键物理过程。基于模拟平台，开展电子束、气流、等离子体的参数优化和鲁棒性研究，提升极紫外光源的功率和稳定性。